웨이퍼1 노광장비란? 반도체 제조 공정의 핵심 장비 이해하기 노광장비란? 반도체 제조 공정의 핵심 장비 이해하기 반도체 제조는 초미세 패턴을 실리콘 웨이퍼 위에 새기는 복잡한 공정입니다. 이 과정에서 노광장비는 웨이퍼에 회로 패턴을 형성하는 데 중요한 역할을 합니다. 이번 글에서는 노광장비의 개념, 작동 원리, 종류, 그리고 반도체 공정에서의 중요성에 대해 알아보겠습니다. 노광장비의 기본 개념과 중요성 노광장비는 반도체 제조 공정에서 포토리소그래피(Photolithography) 단계에 사용되는 장비입니다. 포토리소그래피는 빛을 사용해 웨이퍼 표면에 특정 패턴을 그리는 공정으로, 집적회로의 성능과 기능을 결정하는 핵심 단계입니다. 노광장비는 회로 디자인을 포토마스크(Photomask)라는 템플릿에 투사하고, 이 템플릿의 패턴을 웨이퍼에 복사해 반도체 소자의 구조를.. 2024. 11. 10. 이전 1 다음